潔凈度檢測方法與關鍵控制指標
核心檢測方法
- 懸浮粒子計數法:通過激光粒子計數器直接測量不同粒徑粒子濃度,是電子行業最常用方法。
- 微生物采樣法:針對醫藥、食品等領域,通過培養皿沉降或空氣采樣器收集微生物并計數。
- 綜合指標法:結合溫濕度、壓差、風速等參數,如十萬級車間要求≥0.5μm粒子≤350萬個/m³,浮游菌≤500個/m³。
關鍵控制指標
- 壓差:不同潔凈等級車間之間壓差≥5Pa,潔凈區與非潔凈區≥10Pa。
- 溫濕度:電子廠房通常控制溫度波動±1~2℃,濕度波動±5%~10%,鋰電池干區需嚴格控制露點。
- 照度:生產區照度≥300Lx,輔助區200~300Lx。
不同行業潔凈度應用差異
- 電子行業:側重粒子控制,如TFT-LCD、半導體需4~5級高潔凈環境。
- 醫藥行業:強調微生物控制,A級區需無菌環境。
- 食品行業:關注交叉污染,潔凈度等級多為10萬級~萬級[[5]]。